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5. 聚焦离子束显微镜（FIB）

仪器分类：器件工艺平台

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

预约人：刘通

已报名人员： 1

开始时间： 2025-08-04 09:00:00 - 2025-08-08 18:00:00

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