OXFORD原子力显微镜

仪器名称：OXFORD原子力显微镜 

型号：Asylum Research MFP-3D

生产厂家：牛津仪器

主要配置：

– head、controller、base、scanner

– 样品尺寸：2英寸晶圆，小样品放载玻片

性能指标/主要用途：

– 表面形貌（粗糙度）、力学和电学性质表征

  • 具备接触、轻敲模式测形貌像。X/Y轴的闭环噪音分别为573.01 pm和533.74 pm，Z轴的闭环噪音为170.87 pm

        • 测得HOPG单原子台阶的高度在0.36 nm 

        • X，Y方向的非线性度<0.5%

–表面电势：

  •表面电势可分辨表面两点电势差绝对值

AFM设备已搬迁至实验大厅