紫外-太赫兹全光谱光电测试探针台（E-probe）

设备型号及关键性能参数

型号：

• 探针台：美国Janis公司，型号：Model CCR5-3T-(4TX-1MW40-6PORTS)

• 电学源表：美国Keysight公司，型号：B1500A，电流测量分辨率：10fA，电压输出范围：±100V，中频电容-电压测试，频率范围：1kHz-5MHz

• 示波器：美国Keysight公司，型号：DSOS404A，带宽：4GHz

关键参数：

• 本底真空：4*10^-6mbar@300K，4*10^-8mbar@4K

• 样品台温度：4K~420K，温度稳定性±50mK以内

• 磁场：-3T~3T，均匀度5%@10mm球形范围

• 光纤探针臂可引入波长范围：400nm~2200nm

• 金刚石窗口：引入除2-7 μm外其它波段的光源，包括紫外、太赫兹

• ZnSe红外窗口：引入580nm~19.6μm波长的光源

• 便携式激光器：波长261nm，303nm，360nm，850nm，1310nm，1550nm，功率：5mW@(261nm，303nm),20mW@(360nm，850nm，1310nm，1550nm)

• 中红外激光器：1.4μm~4.3μm波长连续可调，功率：1.35W@3.5μm

设备原理

紫外-太赫兹全光谱光电测试探针台利用G-M热力学闭循环系统制冷，采用单个冷头即可冷却样品台和磁体，无需消耗液氦即可得到4K的样品台温度以及3T的强磁场环境，先进的减振技术保证了样品位置的稳定性。样品周围的防热辐射屏可最大程度地减小来自外界热负载对样品温度的影响，从而使样品获得尽可能低的温度。配置多个探针臂，对样品或器件施加直流、低频信号，微波信号。探针台主要用于为各类器件的电学参数测试提供一个测试平台，提供多个探针臂，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。 

应用范围

真空低温电学测量，如I-V，C-V

强磁场电学输运测量

宽波段光电探测

设备特色

无液氦闭循环制冷，样品台最低温度4k

超导探针台的最大磁场强度（±3T）不会随样品托温度升高而减小

同时满足强磁场保障和真空级联样品传送

可引入深紫外至太赫兹波段的宽波长光源

应用领域

半导体工业、MEMS、超导、铁电、物理和材料学等