四探针中转腔预处理装置

设备用途：用于衬底的除气等预处理

型号：自研

关键性能参数：

真空度：优于2E-10Torr；

四维变温样品台：可实现液氮冷却95K，XY轴移动范围为±12.5mm，Z轴移动范围0-250mm，polar角范围0-360°；

样品台加热方式：辐射加热（最高800℃）和直流加热（最高1300℃）；

控制器电流：0-10A0-60V；

测温方式：红外测温仪测温；

兼容样品托：旗形样品托，并可实现两寸托与旗形托的中转