真空管式退火炉与供气系统

型号：管式炉GSL-1700XФ80

关键性能参数：

功能：真空或气氛状态下烧结各种材料样品

工作压力：真空+氧氛围

样品尺寸:  样品尺寸不大于80mm

加热温度：最高氧氛围加热温度，1400℃，真空加热温度1000℃以上，温度温区150mm左右。

气流量：1-100sccm气流量精确控制

控温方式：智能化30段可编程控制

配备： GSL-2Z-LCD供气系统

应用范围

真空管式退火炉广泛用于实验室在真空或气氛状态下烧结各种新材料样品，温度控制采用高精度控温仪能控制到精度±1^oC并且可以30段程序控温，最高温度达1600^oC（工作温度不低于1400℃）。对一些氧化物衬底如Al₂O₃，SrTiO₃，TiO₂等都能够很好的处理

设备特色

可以实现高温处理，工作温度可以达1400℃。

可以处理氧化物衬底与材料，供气系统中的流量计可以精确控制气流量在1-100sccm

应用领域

 可应用于衬底高温处理，样品烧结等方面