台阶仪

1.型号：KLA-Tencor  P-7

2. 关键性能参数：

测量范围：8 nm-327 μm

重复精度：4Å

样品台：6inch

加载力范围:0.5mg-50mg

单次扫描长度:150mm

XY平台移动范围:150mm*150mm

3. 设备特色

1、P-7能满足实际测试技术要求，且可以较快反映样品表面三维形貌

2、对于同一样品的多点重复测试，可以编辑程序，实现自动数据分析,可高效率测试，

3、在不需要防震台的情况下，1μm标样重复测量精度小于4 Å 

4. 应用范围

台阶仪对于半导体领域表面粗糙度及表面形貌表征具有十分重要的作用，薄膜大范围表面形貌表征，薄膜厚度及均匀性表征，SIMS样品的溅射速率的测量，沟槽深度测量等。