一、设备型号、关键性能参数：

型号：Nova NanoSEM450

关键性能参数：

• 工作压力： 高真空（4×10-4Pa）

• 电子束分辨率：≤1.0nm @ 15kV   ≤1.4nm @ 1kV （二次电子）

• 着陆电压：50V-20kV

• 电子束流强度：0.6pA-200nA

• 能谱探测器：分析元素范围Be4~U92能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV

• 阴极发光光谱仪：光谱探测范围185-900 nm，具有角度分辨成像功能

二、设备原理：

      SEM（扫描电子显微镜）从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。利用电子和物质的相互作用，能够获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测信息得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，从而获得有关物质微观形貌的信息。

三、应用范围：

• 快速高分辨的表面显微结构成像

• 快速的元素分析表征

四、设备特色：

• 配备极靴内二次电子探测器(可探测二次电子、背散射电子或二者的混合像)具有高级的样品清洁系统大探测电流200nA一种新的光学模式-减速模式(BD)具有高低真空样品扫描成像模式。阴极发光光谱仪探测光谱范围从深紫外到近红外，具有角度分辨成像能力。

五、应用领域：

工业产品、生物医学/生物技术、半导体、光学领域、涂层等