5. 超高真空原子层沉积设备（氮化物）（UHV-ALD） - 纳米真空互联实验站

5. 超高真空原子层沉积设备（氮化物）（UHV-ALD）

  • 仪器分类 材料生长平台
  • 仪器状态
  • 所属单位 所内 > 纳米真空互联实验平台
  • 仪器生产商 XX
  • 购置日期 2019-05-01
  • 规格型号 SVT UHV-PEALD-P-100
  • 放置房间号 上善苑大厅

使用指南

  • 暂无数据

FAQ

  • 暂无数据

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