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仪器名称 2026-01-19(周一) 2026-01-20(周二) 2026-01-21(周三) 2026-01-22(周四) 2026-01-23(周五) 2026-01-24(周六) 2026-01-25(周日)
1. 真空管式炉-1
08:00-09:00 【已被预约】
08:00-09:00 【已被预约】





5. 椭偏仪

09:00-09:30 【已被预约】





4. 二维(掠入射)小角/广角 X射线散射线站(2D(GI)SAXS/WAXS)
设备信息:无

09:00-11:00 【已被预约】 13:00-16:00 【已被预约】

09:00-11:00 【已被预约】



测试







原位Mask器件级图案化分子束外延设备







1. 有机-无机MBE集联系统
08:00-18:00 【已被预约】
10:00-12:00 【已被预约】
09:00-13:00 【已被预约】




1. 脉冲激光沉积系统
15:40-17:40 【已被预约】






6. 高温金属有机化合物化学气相沉积设备







双腔室分子束外延设备







金属有机物化学气相沉积设备







4. 手套箱集联系统-复杂环境手套箱







4. 手套箱集联系统-二维手套箱







4. 手套箱集联系统-锂电手套箱







4. 手套箱集联系统-光电手套箱







2. 固液气混合源分子束外延设备(Createc LT-SPM)







4. 荧光光谱仪







i-拉曼







5. 无掩模直写光刻设备
16:00-18:00 【已被预约】 18:10-20:10 【已被预约】 14:00-15:00 【已被预约】


14:00-15:00 【已被预约】



6. 自研约瑟夫森结制备系统(自研MEB)







6. 超高真空多腔体镀膜系统(MEB)







6. 高真空电阻蒸发镀膜设备







5. 超高真空磁控溅射-2(Sputter-2)







2. 超高真空手提箱(UHV-Suitcase)







1. 超高真空多功能超导材料分子束外延设备(Q-MBE)







6. 无液氦稀释制冷机







2. OXFORD原子力显微镜(AFM)
14:00-16:00 【已被预约】
10:00-12:00 【已被预约】
14:00-16:00 【已被预约】




6. 紫外-太赫兹全光谱光电测试探针台(E-probe)







2. 四探针中转腔预处理装置







1. 真空管式炉-2







3. X射线光电子能谱仪-2(XPS-2)
09:00-11:00 【已被预约】 14:00-18:00 【已被预约】 11:00-14:00 【已被预约】
09:00-14:00 【已被预约】 15:00-16:00 【已被预约】 16:00-17:00 【已被预约】 17:00-18:00 【已被预约】 14:00-15:00 【已被预约】
09:00-11:00 【已被预约】 11:00-12:00 【已被预约】 14:00-16:00 【已被预约】 16:00-18:00 【已被预约】 12:00-14:00 【已被预约】
09:00-11:00 【已被预约】 13:00-17:00 【已被预约】 11:00-12:00 【已被预约】 12:00-13:00 【已被预约】 17:00-18:00 【已被预约】
09:00-11:00 【已被预约】 12:00-14:00 【已被预约】 16:00-17:30 【已被预约】 14:00-16:00 【已被预约】 11:00-12:00 【已被预约】


2. 变温扫描隧道显微镜(VT-STM)







5. 超高真空原子层沉积设备(氮化物)(UHV-ALD)
08:30-12:30 【已被预约】
14:00-17:00 【已被预约】
11:00-15:00 【已被预约】




5. 台阶仪







催化-分子束外延(CAT-MBE)







4. 超高真空光学测试系统(UHV-Raman&PL)
09:00-11:00 【已被预约】 12:00-17:00 【已被预约】 11:00-12:00 【已被预约】
08:00-14:00 【已被预约】
08:00-14:00 【已被预约】 14:30-17:00 【已被预约】




3. 俄歇电子能谱仪(AES)
09:00-11:00 【已被预约】 14:00-15:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
10:00-17:00 【已被预约】

09:00-17:00 【已被预约】


2. 自研MBE-STM







5. 超高真空等离子体增强化学气相沉积(PECVD)







5. 离子束刻蚀机(IBE)







5. 金属分子束外延((M)MBE)







3. X射线光电子能谱仪-1(XPS)
16:30-18:00 【已被预约】
09:00-11:00 【已被预约】 13:00-17:00 【已被预约】
09:00-11:00 【已被预约】
13:00-14:00 【已被预约】
16:00-18:00 【已被预约】


5. 超高真空快速退火炉(RTA)
10:00-11:00 【已被预约】
15:00-18:00 【已被预约】





5. 超高真空等离子体清洗机(Plasma)

09:00-10:30 【已被预约】





3. 高能量分辨 、 角分辨光电子谱仪(ARPES)







1. 光发射电子显微镜(PEEM)







4. 红外近场光学显微镜(SNOM)







3. 近常压X射线光电子能谱仪((NAP)XPS)
10:00-22:00 【已被预约】
10:00-16:00 【已被预约】 16:00-22:00 【已被预约】
08:00-20:00 【已被预约】
10:00-20:00 【已被预约】
10:00-20:00 【已被预约】


2. 近常压扫描隧道显微镜((NAP)STM)







5. 超高真空磁控溅射(SPUTTER)
13:00-17:00 【已被预约】






1. 氧化物分子束外延((O)MBE)







2. 四探针扫描隧道显微镜((4P)STM)







2. 超低温扫描隧道显微镜((ULT)STM)







5. 聚焦离子束显微镜(FIB)
13:30-17:30 【已被预约】 09:00-12:00 【已被预约】 18:00-22:00 【已被预约】
09:00-17:30 【已被预约】 18:00-22:00 【已被预约】
09:00-12:00 【已被预约】 13:30-17:30 【已被预约】 18:00-22:00 【已被预约】
09:00-17:30 【已被预约】 18:00-22:00 【已被预约】
09:00-18:00 【已被预约】 18:00-22:00 【已被预约】


4. 扫描电子显微镜(SEM(CL))
09:30-17:31 【已被预约】
14:00-17:00 【已被预约】
08:35-16:00 【已被预约】
15:00-17:00 【已被预约】 09:00-12:00 【已被预约】
14:00-17:00 【已被预约】


5. 原子层沉积设备(氧化物)(ALD)







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