| 仪器名称 | 2026-06-01(周一) | 2026-06-02(周二) | 2026-06-03(周三) | 2026-06-04(周四) | 2026-06-05(周五) | 2026-06-06(周六) | 2026-06-07(周日) |
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1. 真空管式炉-1 |
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5. 椭偏仪 |
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16:40-17:40 【已被预约】
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4. 二维（掠入射）小角/广角 X射线散射线站（2D（GI）SAXS/WAXS） 设备信息:无 |
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13:00-15:30 【已被预约】
15:30-17:00 【已被预约】
11:00-12:00 【已被预约】
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09:00-10:00 【已被预约】
10:00-10:30 【已被预约】
18:00-20:00 【已被预约】
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HF气相刻蚀设备 |
10:00-11:00 【已被预约】
15:30-18:00 【已被预约】
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15:00-16:00 【已被预约】
16:00-18:30 【已被预约】
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MBE-原位生长动力学研究设备 |
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原位Mask器件级图案化分子束外延设备 |
13:30-17:30 【已被预约】
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13:30-17:30 【已被预约】
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13:30-17:30 【已被预约】
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13:30-17:30 【已被预约】
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13:30-17:30 【已被预约】
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1. 有机-无机MBE集联系统 |
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14:00-15:00 【已被预约】
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1. 脉冲激光沉积系统 |
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15:00-17:00 【已被预约】
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11:00-13:00 【已被预约】
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6. 高温金属有机化合物化学气相沉积设备 |
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双腔室分子束外延设备 |
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金属有机物化学气相沉积设备 |
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4. 手套箱集联系统-复杂环境手套箱 |
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4. 手套箱集联系统-二维手套箱 |
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4. 手套箱集联系统-锂电手套箱 |
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4. 手套箱集联系统-光电手套箱 |
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2. 固液气混合源分子束外延设备（Createc LT-SPM） |
11:00-18:00 【已被预约】
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10:00-19:00 【已被预约】
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10:00-19:00 【已被预约】
10:00-20:00 【已被预约】
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19:00-22:00 【已被预约】
10:00-18:00 【已被预约】
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10:00-18:00 【已被预约】
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4. 荧光光谱仪 |
15:00-17:00 【已被预约】
09:00-11:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
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09:30-10:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
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15:00-16:00 【已被预约】
18:00-19:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
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14:00-16:00 【已被预约】
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5. 无掩模直写光刻设备 |
14:00-16:30 【已被预约】
19:30-21:30 【已被预约】
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16:00-19:30 【已被预约】
10:30-14:00 【已被预约】
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10:30-11:30 【已被预约】
18:00-19:00 【已被预约】
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14:00-16:00 【已被预约】
19:00-21:00 【已被预约】
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14:30-16:30 【已被预约】
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6. 自研约瑟夫森结制备系统（自研MEB） |
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6. 超高真空多腔体镀膜系统（MEB） |
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6. 高真空电阻蒸发镀膜设备 |
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5. 超高真空磁控溅射-2（Sputter-2） |
10:00-11:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
11:00-14:00 【已被预约】
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10:00-11:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
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10:00-11:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
15:00-19:00 【已被预约】
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10:00-11:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
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10:00-11:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
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2. 超高真空手提箱（UHV-Suitcase） |
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1. 超高真空多功能超导材料分子束外延设备（Q-MBE） |
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6. 无液氦稀释制冷机 |
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2. OXFORD原子力显微镜（AFM） |
01:40-02:40 【已被预约】
14:00-14:30 【已被预约】
17:30-18:00 【已被预约】
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18:30-21:30 【已被预约】
15:30-16:30 【已被预约】
13:30-14:30 【已被预约】
22:00-23:00 【已被预约】
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14:00-18:00 【已被预约】
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10:00-11:00 【已被预约】
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6. 紫外-太赫兹全光谱光电测试探针台（E-probe） |
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2. 四探针中转腔预处理装置 |
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1. 真空管式炉-2 |
12:00-22:00 【已被预约】
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10:00-20:00 【已被预约】
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3. X射线光电子能谱仪-2（XPS-2） |
09:00-11:00 【已被预约】
12:00-14:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
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16:00-17:30 【已被预约】
15:00-16:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
12:00-14:00 【已被预约】
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09:00-10:00 【已被预约】
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14:00-16:00 【已被预约】
09:00-10:00 【已被预约】
10:00-11:00 【已被预约】
11:00-12:00 【已被预约】
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15:00-17:00 【已被预约】
09:00-15:00 【已被预约】
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2. 变温扫描隧道显微镜（VT-STM） |
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5. 超高真空原子层沉积设备（氮化物）（UHV-ALD） |
15:00-17:00 【已被预约】
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13:00-14:00 【已被预约】
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5. 台阶仪 |
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催化-分子束外延（CAT-MBE） |
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4. 超高真空光学测试系统（UHV-Raman&PL） 设备信息:Raman功能维护中 |
09:00-11:00 【已被预约】
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09:00-17:00 【已被预约】
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09:30-14:45 【已被预约】
14:45-16:50 【已被预约】
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09:30-10:30 【已被预约】
10:30-11:30 【已被预约】
11:30-17:00 【已被预约】
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12:00-17:00 【已被预约】
09:00-12:00 【已被预约】
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09:00-17:00 【已被预约】
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09:00-17:00 【已被预约】
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3. 俄歇电子能谱仪（AES） |
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16:00-17:00 【已被预约】
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09:40-17:00 【已被预约】
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2. 自研MBE-STM |
11:00-16:00 【已被预约】
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5. 超高真空等离子体增强化学气相沉积（PECVD） |
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5. 离子束刻蚀机（IBE） |
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5. 金属分子束外延（（M）MBE） |
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3. X射线光电子能谱仪-1（XPS） |
09:00-14:00 【已被预约】
14:00-15:30 【已被预约】
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09:00-10:00 【已被预约】
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09:00-15:00 【已被预约】
15:00-16:00 【已被预约】
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14:00-16:00 【已被预约】
09:00-14:00 【已被预约】
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5. 超高真空快速退火炉（RTA） |
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5. 超高真空等离子体清洗机（Plasma） |
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13:00-16:00 【已被预约】
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3. 高能量分辨 、 角分辨光电子谱仪（ARPES） |
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1. 光发射电子显微镜（PEEM） |
14:00-19:00 【已被预约】
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08:30-19:30 【已被预约】
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08:30-19:30 【已被预约】
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4. 红外近场光学显微镜（SNOM） |
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3. 近常压X射线光电子能谱仪（（NAP）XPS） |
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09:00-17:00 【已被预约】
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09:00-17:00 【已被预约】
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2. 近常压扫描隧道显微镜（（NAP）STM） |
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18:00-21:00 【已被预约】
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5. 超高真空磁控溅射（SPUTTER） |
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10:00-16:00 【已被预约】
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09:00-15:00 【已被预约】
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09:00-15:00 【已被预约】
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09:00-15:00 【已被预约】
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1. 氧化物分子束外延（（O）MBE） |
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13:30-23:30 【已被预约】
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13:00-23:00 【已被预约】
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08:30-17:30 【已被预约】
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2. 四探针扫描隧道显微镜（（4P）STM） |
10:26-18:00 【已被预约】
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09:00-18:00 【已被预约】
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3. 飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS） |
17:00-18:00 【已被预约】
14:00-17:00 【已被预约】
09:00-11:00 【已被预约】
12:00-14:00 【已被预约】
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09:00-10:00 【已被预约】
11:00-14:00 【已被预约】
10:00-11:00 【已被预约】
17:00-18:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
15:00-17:00 【已被预约】
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16:00-17:00 【已被预约】
09:00-12:00 【已被预约】
13:30-16:00 【已被预约】
12:00-13:30 【已被预约】
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10:00-11:00 【已被预约】
13:00-15:00 【已被预约】
11:00-12:00 【已被预约】
09:00-10:00 【已被预约】
12:00-13:00 【已被预约】
15:00-17:00 【已被预约】
17:00-18:00 【已被预约】
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09:00-12:00 【已被预约】
12:00-13:00 【已被预约】
13:00-14:00 【已被预约】
14:00-16:00 【已被预约】
16:00-17:30 【已被预约】
17:30-18:30 【已被预约】
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2. 超低温扫描隧道显微镜（（ULT）STM） |
10:00-15:00 【已被预约】
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08:00-23:00 【已被预约】
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5. 聚焦离子束显微镜（FIB） |
09:00-12:02 【已被预约】
15:00-16:00 【已被预约】
14:00-15:00 【已被预约】
16:00-17:30 【已被预约】
12:02-14:00 【已被预约】
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16:00-18:00 【已被预约】
13:30-16:00 【已被预约】
09:00-11:00 【已被预约】
11:00-13:30 【已被预约】
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09:00-17:30 【已被预约】
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09:00-17:30 【已被预约】
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09:00-17:30 【已被预约】
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4. 扫描电子显微镜（SEM（CL）） |
09:00-11:00 【已被预约】
14:00-16:00 【已被预约】
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10:00-11:30 【已被预约】
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14:00-17:00 【已被预约】
10:30-11:30 【已被预约】
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09:30-11:00 【已被预约】
14:00-16:00 【已被预约】
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09:30-11:00 【已被预约】
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5. 原子层沉积设备（氧化物）（ALD） |
15:00-17:00 【已被预约】
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15:00-17:00 【已被预约】
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15:00-17:00 【已被预约】
11:00-13:00 【已被预约】
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15:00-17:00 【已被预约】
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15:00-17:00 【已被预约】
17:00-19:00 【已被预约】
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