仪器生产商: ----
资产编号: SN202103064
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购买经办人: ----
主要配件: ----
主要参数: ----
仪器介绍:
高真空电阻蒸发镀膜设备
关键性能参数
l 真空:进样室极限真空可达到2E-4Pa
薄膜制备室极限真空可达到2E-5Pa
l 进样室配备卡夫曼刻蚀离子源,配备刻蚀气体:Ar,刻蚀不均匀性低于±5%
l 薄膜制备室安装双温区热蒸发束源炉,材料:In,坩埚容量50cc,In沉积速率最快可达5nm/s
l 薄膜制备室样品台配置VPC-500型深冷机,可对样品进行冷却
应用范围
l 沉积In金属
应用领域
l 量子计算
l 可用于超导体,半导体,微电子,纳米材料的制备
l 新型薄膜太阳能电池和传感器
收费标准:
1、不自带材料测试:350元/h+160元/次工艺+50元/1000nm
2、自带材料测试:350元/h+160元/次工艺+160元/h*工艺蒸镀时间
由于该设备涉及降温过程,请预约尽量紧凑。若有加急需求,需另行沟通。
主要仪器管理员: 沈阳(电话:13914729068)
工作时间: 08:30-12:00;13:30-17:30
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
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未授权资格 | ||
普通资格 | ||
资深资格 |
序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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