仪器生产商： ----
资产编号： SN202108027
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购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：
一、设备型号、关键性能参数
Ø 型号：Q-MBE （MBE-35-N-EBS）
Ø 功能：金属及氮化物超导材料制备
Ø 背景压力：超高真空（~7e-11 torr）；
Ø 样品尺寸: 2英寸，兼容旗型样品托；
Ø 衬底加热温度：生长腔最高1000℃，预处理腔最高1300℃；
Ø 配备氮等离子源、氧等离子源；
Ø 配备冷嘴Al材料蒸发源 ；
Ø 配备高熔点金属电子束蒸发源；
二、设备特色
Ø 腔体液氮冷却条件下，极限真空能达到5.0e-11 torr，工作真空一般能达到~2e-10 torr；
Ø 30 KeV 反射式高能电子衍射仪，能实时检测薄膜的生长；
Ø 预处理腔配备氧等离子体源和高温处理台（1300℃），可除去化学清洗后衬底表面污染；
Ø 外延生长过程中实时监控设备多，包括RHEED、QCM、RGA、红外测温、原子吸收谱等；
Ø 生长腔样品台可控制倾斜角度，可用于探索图形化器件的薄膜制备；
Ø 与原子级尺度形貌表征设备AFM/STM组成联合系统，可从原子级尺度研究薄膜生长动力学行为特征；
三、设备应用范围
超导材料分子束外延设备（Q-MBE）在超高真空环境利用热蒸发原理沉积金属薄膜，实现高质量金属薄膜的成分可控、膜厚可控生长，在金属超导量子材料、氮化物超导量子材料、拓扑量子材料、半导体材料等原子级尺度制备及器件制作方向具有广泛应用前景。
主要仪器管理员： 张亚宾(电话:18361005693)
工作时间： 08:30-12:00;13:30-15:30
最小可预约时间段： 0.5 小时
最大可预约时间段： 168 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间： 15 分钟
失约保护时间： 15 分钟
断电延时时间： 30 秒
最短重上电时间： 5 秒
使用超时提醒： 120 秒
最大有效预约次数： 5 次/天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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