仪器生产商： ----
资产编号： SN202005041（2）
资产负责人： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：
四探针中转腔预处理装置
设备用途：用于衬底的除气等预处理
型号：自研
关键性能参数：
真空度：优于2E-10Torr；
四维变温样品台：可实现液氮冷却95K，XY轴移动范围为±12.5mm，Z轴移动范围0-250mm，polar角范围0-360°；
样品台加热方式：辐射加热（最高800℃）和直流加热（最高1300℃）；
控制器电流：0-10A0-60V；
测温方式：红外测温仪测温；
兼容样品托：旗形样品托，并可实现两寸托与旗形托的中转
主要仪器管理员： 陈爱喜(电话:18306206239)
工作时间： 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段： 0.5 小时
最大可预约时间段： 4 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数： 5 次/天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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