仪器生产商： XXX
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主要参数： ----
仪器介绍：
台阶仪
1.型号：KLA-Tencor P-7
2. 关键性能参数：
测量范围：8 nm-327 μm
重复精度：4Å
样品台：6inch
加载力范围:0.5mg-50mg
单次扫描长度:150mm
XY平台移动范围:150mm*150mm
3. 设备特色
1、P-7能满足实际测试技术要求，且可以较快反映样品表面三维形貌
2、对于同一样品的多点重复测试，可以编辑程序，实现自动数据分析,可高效率测试，
3、在不需要防震台的情况下，1μm标样重复测量精度小于4 Å
4. 应用范围
台阶仪对于半导体领域表面粗糙度及表面形貌表征具有十分重要的作用，薄膜大范围表面形貌表征，薄膜厚度及均匀性表征，SIMS样品的溅射速率的测量，沟槽深度测量等。
主要仪器管理员： 张亚宾(电话:18361005693)
仪器管理员： 王虎(电话:18896719689)
仪器管理员： 荣毅(电话:18100674227)
工作时间： 08:30-12:00;13:30-17:30
最小可预约时间段： 0.5 小时
最大可预约时间段： 168 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数： 10 次/天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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