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5. 离子束刻蚀机(IBE)

5. 离子束刻蚀机(IBE)

仪器分类: 器件工艺平台

仪器状态:

所属单位: 所内 > 纳米真空互联实验平台

仪器生产商: XXX

购置日期: 2015-08-18

使用模式: 项目委托,按时预约

规格型号: IBE

放置房间号: 上善苑大厅

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