3. X射线光电子能谱仪-1（XPS）

仪器生产商： XXX

资产编号： ----

资产负责人： ----

购买经办人： ----

主要配件： ----

主要参数： Micro-Focused Monochromatic Al Kα X-ray Source Scanning X-ray Beam Induced Secondary Electron Image (SXI) 5 Axis Motor Sample Stage: TOA range from 0~90o for angle-resolved analysis, variable angular accuracy better than 1o Dual Beam Charge Neutralization Systerm Gas Cluster Ion Gun (GCIB) UltraViolet Photoelectron Spectroscopy (UPS)

仪器介绍：

一、设备型号、关键性能参数

设备型号：PHI 5000 VersaprobeⅡ

关键性能参数指标：

聚焦Al Kα单色化X射线源
实现X射线激发二次电子影像（SXI）（带有形貌信息的二次电子像）
五轴样品台：可实现 0~90º倾斜用于角分辨分析，角度分辨≤±1º；（变角范围大）
双束中和系统：（非常特别的一种无需校准的中和系统）
团簇离子枪（GCIB）：（特别适合用于锂电中SEI膜的研究）
紫外光电子谱（UPS ）

二、设备原理

XPS的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。通过测量光电子的能量，以光电子的动能/束缚能 binding energy为横坐标，相对强度为纵坐标可做出光电子能谱图。

三、应用范围

元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。
元素的定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。
固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。
化合物的结构。可以对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布方面的信息。

四、设备特色

单色化AlKαX射线源：最小束斑不大于10 μm，且可在不大于10μm束斑下，实现图谱采集，化学态成像，深度剖析，以及变角分析。
五轴马达样品台（X、Y、Z移动，倾斜及旋转）
成像XPS：快速成像，最佳空间分辨率优于10 μm
角分辨功能：满足不小于±90°角分辨分析，变角精度好于1°。
荷电中和系统：电子束离子束双束中和，对于PET标样，样品满足PET中O-C=O半峰宽小于0.85eV。
离子枪：Ar离子能量最大不低于5000 eV，最大离子束斑不小于10mm X 10mm
团簇离子枪：团簇离子枪模式工作气体为氩气，最大加速电压20kV。
加热制冷装置：至少可实现最高500ºC加热以及最低 -120ºC制冷
紫外光电子谱（UPS）。

五、应用领域

有机材料，无机材料，半导体器件，催化，分子生物学等等。

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	需审核
普通资格	免审核	需审核
资深资格	免审核	免审核

3. X射线光电子能谱仪-1（XPS）

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