仪器生产商： XXX
资产编号： SN201710038
资产负责人： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：
一、设备型号、关键性能参数：
型号：Nova NanoSEM450
关键性能参数：
工作压力： 高真空（4×10-4Pa）
电子束分辨率：≤1.0nm @ 15kV ≤1.4nm @ 1kV （二次电子）
着陆电压：50V-20kV
电子束流强度：0.6pA-200nA
能谱探测器：分析元素范围Be4~U92能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV
阴极发光光谱仪：光谱探测范围185-900 nm，具有角度分辨成像功能
二、设备原理：
SEM（扫描电子显微镜）从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。利用电子和物质的相互作用，能够获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测信息得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，从而获得有关物质微观形貌的信息。
三、应用范围：
快速高分辨的表面显微结构成像
快速的元素分析表征
四、设备特色：
配备极靴内二次电子探测器(可探测二次电子、背散射电子或二者的混合像)具有高级的样品清洁系统大探测电流200nA一种新的光学模式-减速模式(BD)具有高低真空样品扫描成像模式。阴极发光光谱仪探测光谱范围从深紫外到近红外，具有角度分辨成像能力。
五、应用领域：
工业产品、生物医学/生物技术、半导体、光学领域、涂层等
主要仪器管理员： 许蕾蕾(电话:15995798133)
仪器管理员： 孔亚萍(电话:19942238256)
仪器管理员： 国玥(电话:18249447968)
工作时间： 08:30-12:00;13:30-17:30
最小可预约时间段： 1 小时
最大可预约时间段： 168 小时
日历最小单位： 0.5 小时
最近提前预约时间： 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间： 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间： 15 分钟
失约保护时间： 15 分钟
断电延时时间： 30 秒
最短重上电时间： 5 秒
使用超时提醒： 120 秒
最大有效预约次数： 5 次/天
无代价撤销预约时间： 1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | ||
| 普通资格 | ||
| 资深资格 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | SEM+CL-操作手册 | 1 | 2019-12-06 14:50:02 | 文件下载 |
sinano.ac.cn