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3. X射线光电子能谱仪-2（XPS-2...
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： ESCALAB Xi+
放置房间号： ----
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2. 变温扫描隧道显微镜（VT-STM）
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： ScientaOmicron VT-STM
放置房间号： 上善苑实验大厅
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5. 超高真空原子层沉积设备（氮化物）（...
仪器分类： 材料生长平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： SVT UHV-PEALD-P-100
放置房间号： 上善苑大厅
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催化-分子束外延（CAT-MBE）
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： SPECS MBE
放置房间号： 上善苑大厅
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4. 超高真空光学测试系统（UHV-Ra...
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态： （未知用户）
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 定制
放置房间号： 上善苑大厅
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3. 俄歇电子能谱仪（AES）
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态： （未知用户）
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： AES
放置房间号： 上善苑大厅
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5. 金属分子束外延（（M）MBE）
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： metal-MBE
放置房间号： 上善苑大厅
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3. X射线光电子能谱仪-1（XPS）
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： PHI 5000 VersaprobeⅡ
放置房间号： 上善苑大厅
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5. 超高真空快速退火炉（RTA）
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Annealing
放置房间号： 上善苑大厅
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