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5. 无掩模直写光刻设备
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Microwriter ML3
放置房间号： 超净间
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6. 超高真空多腔体镀膜系统（MEB）
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： MEB550 SL3
放置房间号： ----
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5. 超高真空磁控溅射-2（Sputte...
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： UHV Sputter-350L
放置房间号： ----
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5. 金属分子束外延（（M）MBE）
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： metal-MBE
放置房间号： 上善苑大厅
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5. 超高真空快速退火炉（RTA）
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Annealing
放置房间号： 上善苑大厅
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5. 超高真空等离子体清洗机（Plasm...
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Uni-Bulb RF plasma
放置房间号： 上善苑大厅
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5. 超高真空磁控溅射（SPUTTER）
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： UHV Sputter System sputter-24
放置房间号： 上善苑大厅
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