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金属有机物化学气相沉积设备
仪器分类： 材料生长平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： AIXTRON Close Coupled Showerhead 6x2 inch
放置房间号： ----
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手套箱集联系统-光电手套箱
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 格科技（苏州）股份有限公司
放置房间号： ----
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2. 固液气混合源分子束外延设备（Cre...
仪器分类： 材料生长平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Createc MBE-2-LT-STM-AFM-N
放置房间号： ----
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5. 无掩模直写光刻设备
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Microwriter ML3
放置房间号： 超净间
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6. 超高真空多腔体镀膜系统（MEB）
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： MEB550 SL3
放置房间号： ----
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5. 超高真空磁控溅射-2（Sputte...
仪器分类： 器件工艺平台
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： UHV Sputter-350L
放置房间号： ----
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4. 二维（掠入射）小角/广角 X射线散...
仪器分类： 测试分析平台
仪器状态： （未知用户）
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Xeuss 3.0
放置房间号： ----
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