-
1.2 固液气混合源分子束外延设备（固液气MBE）
-
2.3 HF气相刻蚀设备
-
2.3 MBE-原位生长动力学研究设备
-
2.3 原位Mask器件级图案化分子束外延设备
-
1.3 有机-无机MBE集联系统
-
1.3 脉冲激光沉积系统
-
1.1 高温金属有机化合物化学气相沉积设备
-
双腔室分子束外延设备
-
金属有机物化学气相沉积设备
-
1.1 手套箱集联系统-复杂环境手套箱
-
1.1 手套箱集联系统-二维手套箱
-
1.1 手套箱集联系统-锂电手套箱
| 仪器名称 | 2026-10-19(周一) | 2026-10-20(周二) | 2026-10-21(周三) | 2026-10-22(周四) | 2026-10-23(周五) | 2026-10-24(周六) | 2026-10-25(周日) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.3 真空管式炉-1 | |||||||
| 2.4 椭偏仪 | |||||||
| 3.2 二维（掠入射）小角/广角 X射线散射线站（2D（GI）SAXS/WAXS） | 13:30-15:30 已被预约 | 14:00-17:00 已被预约 09:00-11:00 已被预约 | 15:00-16:00 已被预约 09:00-11:00 已被预约 13:00-15:00 已被预约 | ||||
| 1.2 固液气混合源分子束外延设备（固液气MBE） | |||||||
| 2.3 HF气相刻蚀设备 | 14:00-16:00 已被预约 | 12:00-14:00 已被预约 |
-
仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
-
仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
-
仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
-
仪器名称： 3.2 扫描电子显微镜（SEM（CL））
-
仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
-
仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
-
仪器名称： 2.1 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
-
仪器名称： 3.2 红外近场光学显微镜（SNOM）
-
仪器名称： 3.2 扫描电子显微镜（SEM（CL））
-
仪器名称： 1.2 氧化物分子束外延（（O）MBE）
-
仪器名称： 3.3 聚焦离子束显微镜（FIB）
-
仪器名称： 3.3 聚焦离子束显微镜（FIB）
sinano.ac.cn