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HF气相刻蚀设备
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MBE-原位生长动力学研究设备
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原位Mask器件级图案化分子束外延设备
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1. 有机-无机MBE集联系统
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1. 脉冲激光沉积系统
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6. 高温金属有机化合物化学气相沉积设备
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双腔室分子束外延设备
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金属有机物化学气相沉积设备
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4. 手套箱集联系统-复杂环境手套箱
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4. 手套箱集联系统-二维手套箱
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4. 手套箱集联系统-锂电手套箱
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4. 手套箱集联系统-光电手套箱
| 仪器名称 | 2026-06-01(周一) | 2026-06-02(周二) | 2026-06-03(周三) | 2026-06-04(周四) | 2026-06-05(周五) | 2026-06-06(周六) | 2026-06-07(周日) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1. 真空管式炉-1 | |||||||
| 5. 椭偏仪 | 16:40-17:40 已被预约 | ||||||
| 4. 二维（掠入射）小角/广角 X射线散射线站（2D（GI）SAXS/WAXS） | 13:00-15:30 已被预约 15:30-17:00 已被预约 11:00-12:00 已被预约 | 09:00-10:00 已被预约 10:00-10:30 已被预约 18:00-20:00 已被预约 | |||||
| HF气相刻蚀设备 | 10:00-11:00 已被预约 15:30-18:00 已被预约 | 15:00-16:00 已被预约 16:00-18:30 已被预约 | |||||
| MBE-原位生长动力学研究设备 |
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仪器名称： 4. 扫描电子显微镜（SEM（CL））
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仪器名称： 5. 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 5. 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 5. 原子层沉积设备（氧化物）（ALD）
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仪器名称： 4. 红外近场光学显微镜（SNOM）
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仪器名称： 4. 扫描电子显微镜（SEM（CL））
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仪器名称： 1. 氧化物分子束外延（（O）MBE）
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仪器名称： 5. 聚焦离子束显微镜（FIB）
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仪器名称： 5. 聚焦离子束显微镜（FIB）
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仪器名称： 5. 聚焦离子束显微镜（FIB）
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仪器名称： 5. 聚焦离子束显微镜（FIB）
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仪器名称： 5. 超高真空磁控溅射（SPUTTER）
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